1.无法达到极限压力
可能的原因是管道，系统或泵部件泄漏，前级泵的极限压力低，润滑油质量太差，油封不好。维护方法是检查系统的泵，修理和纠正前级泵，并更换润滑油或油封。
2.抽速低
可能的原因是管道通道容量低，前级泵的泵速低。这时，有必要增加管道的管道容量，修理或更换前级泵。
3.电机过载
原因可能是入口处的压力太高，转子的端面与端盖的单侧接触，并且前级泵将油返回到罗茨真空泵的泵室中。这是需要调整压力，转子和设备的防返回设置。
4.在极端压力下工作
在极端压力的工作状态下，由于真空泵旋转得非常快，因此气体不会通过壳体表面散热。由于温度突然升高，转子和壳体之间的间隙变小，真空泵停止工作。在其他情况下，真空泵将不能产生真空。
5.罗茨真空泵过热
前级泵的抽速低，导致压缩比大，入口压力过高，冷却效果差，齿轮，轴承和油封润滑剂性能差。此时，有必要更换前级泵，调整入口压力，调整油量以增加冷却水，确保润滑剂的质量和计量，并防止过热和泵组件的任何损坏。
6.罗茨真空泵运行期间有噪音
罗茨泵的位置不正确，需要进行调整。在工作过程中，更多大颗粒进入罗茨泵腔内部，造成磨损和噪音。启动时的设定压力也可能太大而不会导致真空泵的部件过热而损坏。
7.液体进入泵体
液体的突然侵入会导致罗茨真空泵的损坏，因为在快速冷却的情况下，气体不能达到所需的温度以蒸发液体，并且蒸汽不能及时从泵中逸出。响应于这种情况，在处理室和罗茨泵之间需要接收器以吸收进入泵的液体以防止损坏罗茨真空泵。
8.外部灰尘累积
在灰尘颗粒或灰尘的过程中，可以在真空泵的入口处安装灰尘过滤器，以保护罗茨泵和下游泵。
