真空泵油具有非常不错的氧化稳定性，不易变质，能减少油垢的形成，而且一次使用可以较长时间不更换。另外真空泵油具有优异的防腐蚀性，还可以让真空泵不那么容易生锈，因为这种油特殊性能在真空泵外表形成一层膜，全面保护真空泵，而且由于油的特殊性，真空泵油还能轻易的把水分离出来，达到真空的目的。使用真空泵油也能极大的提高泵的使用寿命，节约使用成本，这就是为什么真空泵要有专用的真空泵油的本质原因了。在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
真空泵油的主要性能要求包括以下几个：
1.低蒸气压
2.合适的粘度和良好的粘温特性
3.良好的热氧化安定性
4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性
5.较高的闪点
6.低极限压力
有些厂家为了节约成本会使用液压油，机油来代替真空泵油的使用，看似是节约了成本其实本质是一提高了生产成本，因为真空泵油是有粘度，饱和蒸汽压，抗氧化性等要求的。用别的油品代替，可能会造成真空泵的性能下降，不同的油品粘度，抗氧化性能不一致也会损坏真空泵，从而增加真空泵的维修费用，减少真空泵的使用寿命。所以不可以用别的润滑油替代，只能够用性能一致，相近的真空泵油替代。
